SRH型水封式真空ポンプ

  • 特徴・用途
  • 選定図
  • 動作原理

SRH型水封式真空ポンプ 動作原理

動作原理

適量の封水がケーシング内に供給され、この中でロータが回転すると封水は遠心力によってケーシングの内壁に沿って流れ、ポンプの中心部に円形の空間ができます。
説明図に示す様にロータ軸の中心はケーシング内壁の中心に対して偏心しています。このためロータの回転に従いロータの羽根と羽根の間の封水面は、ポンプ中心方向に向かって出入りします。
これは、ロータの羽根と羽根の間の空間が、往復動ポンプのシリンダの役目をし、封水がピストンと同じ作用をしていることになります。
この作用により、ガスは、ロータの内側に設けられているポートシリンダの吸込口より吸引され、圧縮された後に吐出口より排出されます。

封水温度の影響

この真空ポンプは水封式であり、ポンプ内の空間部は封水のベーパーで充満しています。それゆえ、高真空域での特性は吸込ガス温度と封水温度によって変化するペーパープレッシャーによって影響を受けます。
カタログにに表示している性能は吸込温度20℃、封水温度15℃の時の値で示されています。

封水温度が変わった場合の吸込状態風量は下図のように変化します。